ふっ素樹脂製加工品
半導体製造装置に使用される、ミクロンレベルの超精密加工を行った部品です。PFA、PTFE、PCTFE、PEEKなどでの対応が可能です。
種類：ベローズ、ウエハガイド、ウエハチャック、チャンバー、バルブボディ
角槽（一体成形角槽、溶接槽、一体成形オーバーフロー）
半導体洗浄エッテング工程で使用される高純度薬液の一体角槽やオーバーフロー槽が適しています。一体成形槽から溶接構造槽まで製作しています。
種類：PTFE角槽、PTFEオーバーフロー槽、 PFA角槽
その他樹脂製品
ジュラコン・超高分子ポリエチレン・ナイロン・ＭＣナイロン・ＰＥＥＫ・ウルテム・ユニレートなど色んな樹脂を取扱いしております。また機械加工だけではなく成型品なども対応できます。
ウエハーキャリヤー・ハンドル・ボックス
各種ウエハーキャリア、ハンドル、ボックス等の半導体関連プラスチック製器具の販売を行っています。
大口径リング
詳細はこちら金型成形でなく任意サイズのOリングを製作することが可能です。
送り方式のため、規格にないサイズのOリングが製作出来ます。少数のご発送に適しており、短納期でご提供出来ます。
内径300mm以上の製作が可能です。
各断面形状の製作が可能です。
